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　　金融界2025年5月8日音讯，国家知识产权局信息数据显现，SK恩普士有限公司请求一项名为“具有改善的浆料流动性的抛光垫和运用其制备半导体设备的办法”的专利，公开号CN119927794A，请求日期为2024年11月。

　　专利摘要显现，因为在依据本发明实施方案的抛光垫中，除了同心方式的榜首凹槽之外，还采用了特别规划的径向方式的第二凹槽，因此能改善浆料的流动性，并能改动晶片曲线和抛光速率。